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德国 MLase 准分子激光器型号:MLI-ArF-200,货号:509265-04
发布时间:2025-11-27        浏览次数:4        返回列表
 

德国 MLase 准分子激光器型号:MLI-ArF-200,货号:509265-04
德国MLase MLI-ArF-200 准分子激光器 性能与特点详解

核心性能参数

  • 陈聪霞
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    激光工作物质: ArF(氩氟气体)

  • 输出波长: 193 nm

    • 这是该激光器最核心的特征之一。193nm属于深紫外(DUV) 波段,是光子和能量极高的激光输出。

  • 最大输出脉冲能量: ≥ 200 mJ(通常在特定重复频率下,如200Hz时测得)

  • 典型平均功率: 数十瓦级别(例如,在200Hz重复频率下,平均功率可达40W左右)。

  • 重复频率: 最高可达 200 Hz(或更高,取决于具体配置),这意味着它每秒钟可以发射多达200个激光脉冲。

  • 脉冲宽度(FWHM): 约10 - 20 ns(纳秒量级),这是一种短脉冲、高峰值功率的运行方式。

MLase GmbH-准分子激光器-6





主要技术特点

  1. 卓越的可靠性与长寿命设计

    • 坚固的金属-陶瓷管技术: MLase采用其专利的坚固耐用的激光腔体设计,显著提升了气体寿命和整体器件的稳定性,降低了维护频率和运营成本。

    • 长寿命部件: 电极、预电离等关键部件经过优化设计,寿命极长,确保了激光器能够胜任7x24小时连续工业运行。

    • 智能气体处理系统: 内置先进的气体循环和净化系统,能保持激光气体混合物的最佳状态,确保输出能量和光束质量的长期稳定。

  2. 紧凑与模块化设计

    • 相较于早期笨重的准分子激光器,MLI-ArF-200的设计非常紧凑,节省了宝贵的设备安装空间。

    • 模块化设计使得维护和部件更换变得快速、简便,最大程度地减少了系统停机时间。

  3. 高输出能量与高重复频率

    • 高达200mJ以上的脉冲能量,结合200Hz的高重复频率,使其能够提供高平均功率。这对于需要高速、高能量加工的应用至关重要,可以大幅提升生产吞吐量。

  4. 优异的光束质量

    • 输出光束质量好,发散角小,易于进行光束整形和聚焦,从而获得高精度的加工效果。

  5. 用户友好的全数字化控制

    • 激光器通过全数字化嵌入式控制系统进行管理,通常配备以太网接口,可以轻松集成到自动化生产线中。

    • 用户可以通过PC软件或触摸屏界面方便地监控所有运行参数(如电压、气压、能量、温度等),并设置和优化工艺配方。

MLase 是德国一家工业准分子激光器供应商。自 2007 年 12 月 MLase GmbH 成立以来,我们一直致力于开发和生产创新和高质量的激光和光系统,这是高度专业化的专家团队多年经验的结晶。MLase GmbH 考虑到最新的技术方面,为客户提供最高质量的产品。在 MLase,我们将自己视为您了解有关我们产品的所有问题的直接联系人。因此,我们非常重视与客户的密切对话。