德国 MLase 准分子激光器型号:MLI-ArF-200,货号:509265-04
德国MLase MLI-ArF-200 准分子激光器 性能与特点详解
核心性能参数
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陈聪霞
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激光工作物质: ArF(氩氟气体)
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输出波长: 193 nm
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这是该激光器最核心的特征之一。193nm属于深紫外(DUV) 波段,是光子和能量极高的激光输出。
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最大输出脉冲能量: ≥ 200 mJ(通常在特定重复频率下,如200Hz时测得)
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典型平均功率: 数十瓦级别(例如,在200Hz重复频率下,平均功率可达40W左右)。
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重复频率: 最高可达 200 Hz(或更高,取决于具体配置),这意味着它每秒钟可以发射多达200个激光脉冲。
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脉冲宽度(FWHM): 约10 - 20 ns(纳秒量级),这是一种短脉冲、高峰值功率的运行方式。

主要技术特点
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卓越的可靠性与长寿命设计
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坚固的金属-陶瓷管技术: MLase采用其专利的坚固耐用的激光腔体设计,显著提升了气体寿命和整体器件的稳定性,降低了维护频率和运营成本。
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长寿命部件: 电极、预电离等关键部件经过优化设计,寿命极长,确保了激光器能够胜任7x24小时连续工业运行。
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智能气体处理系统: 内置先进的气体循环和净化系统,能保持激光气体混合物的最佳状态,确保输出能量和光束质量的长期稳定。
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紧凑与模块化设计
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相较于早期笨重的准分子激光器,MLI-ArF-200的设计非常紧凑,节省了宝贵的设备安装空间。
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模块化设计使得维护和部件更换变得快速、简便,最大程度地减少了系统停机时间。
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高输出能量与高重复频率
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高达200mJ以上的脉冲能量,结合200Hz的高重复频率,使其能够提供高平均功率。这对于需要高速、高能量加工的应用至关重要,可以大幅提升生产吞吐量。
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优异的光束质量
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输出光束质量好,发散角小,易于进行光束整形和聚焦,从而获得高精度的加工效果。
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用户友好的全数字化控制
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激光器通过全数字化嵌入式控制系统进行管理,通常配备以太网接口,可以轻松集成到自动化生产线中。
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用户可以通过PC软件或触摸屏界面方便地监控所有运行参数(如电压、气压、能量、温度等),并设置和优化工艺配方。
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